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2207型表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x主要技術(shù)指標(biāo)：

1.測(cè)量原理：垂直方向：觸針?lè)?，電感傳感器?/p>

　　　　　　水平方向：光柵傳感器；

2.測(cè)量范圍：垂直400μm，水平100mm；

3.表面粗糙度示值誤差：≤±5%；

　輪廓度示值誤差：垂直≤0.25%，水平≤0.004%；

4.最小分辨力：垂直0.6 nm，水平1μm；

5.取樣長(zhǎng)度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；

6. 評(píng)定長(zhǎng)度：N倍取樣長(zhǎng)度，N=1，2，3，4，5；

7. 數(shù)字濾波器：高斯、2RC、PC、不濾波；

8.粗糙度測(cè)量參數(shù)：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq，Rmr；

　波紋度測(cè)量參數(shù)：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq，Wmr；

　原始輪廓測(cè)量參數(shù)：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq，Pmr；

　直線(xiàn)度測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量參數(shù)：|X2-X1|，|Y2-Y1|；

9.輪廓圖形的垂直放大倍率：最大100000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；

　輪廓圖形的水平放大倍率：最大50000倍無(wú)級(jí)連續(xù)放大；

10.驅(qū)動(dòng)箱滑行長(zhǎng)度：100mm；

11.驅(qū)動(dòng)速度：0.1，0.2，0.5，0.8，1.0mm/s；

　 返回速度：1.5mm/s；

12.傳感器返回形式：手動(dòng)，自動(dòng)；

13.基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性：1μm/100mm；

14.傳感器測(cè)針：金剛石圓錐，錐角90°，針尖半徑2μm；

15.立柱結(jié)構(gòu)：快慢速機(jī)動(dòng)升降系統(tǒng)，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位；

16.立柱垂直測(cè)量高度：290mm；

17.工作底臺(tái)：460mm×620mm大理石平臺(tái)；